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旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵,其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、、电子、化工、轻工、石油等生产和部门。
旋片式真空泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵,旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片式真空泵泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成.在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片.旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程.而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程.居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程.由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压于空间A内的压强,因此将气体吸入.当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,后与排气口相通.当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中.由泵的连续运转,达到连续抽气的目的.如果排出的气体通过气道而转入另(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵.这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了真空度。